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皮秒激光是指激光發(fā)射脈沖寬度時間為皮秒級,其依靠自身極高的峰值功率,瞬間氣化材料,熱效應微乎其微,加工邊緣整齊。
通過皮秒激光在掃描振鏡的移動反射下經平場掃描物鏡聚焦在脆性材料表面,掃描振鏡控制激光束進行多次重復轉圈運動,逐漸燒蝕材料表面,材料被高密度峰值功率激光瞬間加熱迅速升高至等離子體氣化溫度,使得材料逐漸被激光燒蝕并以氣體的形式從材料表面逸出,從而實現(xiàn)材料的切透分離。
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皮秒激光是指激光發(fā)射脈沖寬度時間為皮秒級,其依靠自身極高的峰值功率,瞬間氣化材料,熱效應微乎其微,加工邊緣整齊。
通過皮秒激光在掃描振鏡的移動反射下經平場掃描物鏡聚焦在脆性材料表面,掃描振鏡控制激光束進行多次重復轉圈運動,逐漸燒蝕材料表面,材料被高密度峰值功率激光瞬間加熱迅速升高至等離子體氣化溫度,使得材料逐漸被激光燒蝕并以氣體的形式從材料表面逸出,從而實現(xiàn)材料的切透分離。
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